在中國半導(dǎo)體圈，陳昕是一個傳奇——在53歲時創(chuàng)立了北京科華，并用10年的時間讓北京科華實(shí)現(xiàn)了國內(nèi)領(lǐng)先。

“這不是某一刻的決定，在那之前，為推動中國半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展，我已經(jīng)跟國內(nèi)企業(yè)合作了8年?！碧峒爱?dāng)初的創(chuàng)業(yè)，陳昕告訴記者，在創(chuàng)立科華之前，她在美國的半導(dǎo)體光刻膠公司工作。每年回國交流，都會認(rèn)真給出發(fā)展先進(jìn)半導(dǎo)體光刻膠的建
議。但是，陳昕的建議如“泥牛入海”，讓陳昕內(nèi)心十分苦悶?！澳阏f的事情要花很多錢，還要承擔(dān)很多責(zé)任。”這樣的反饋?zhàn)岅愱恳庾R到，自己對祖國光刻膠產(chǎn)業(yè)的夢想不能讓別人負(fù)責(zé)。

“你學(xué)了一門祖國需要的學(xué)問，這是幸運(yùn)的?！眿寢尩脑捊o了陳昕莫大的鼓勵，重新喚醒了她的夢想。陳昕決定，回國創(chuàng)辦一家半導(dǎo)體光刻膠公司。2003年，陳昕與合作伙伴回國內(nèi)調(diào)研，看到了國內(nèi)微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的好勢頭。2004年夏天，在和平里七
區(qū)一間不到30平方米的小房子里，北京科華誕生了。陳昕的目標(biāo)是：在國內(nèi)創(chuàng)建一個具有國際水準(zhǔn)的光刻膠企業(yè)，用5年時間幫助國內(nèi)實(shí)現(xiàn)當(dāng)時先進(jìn)的G/I線光刻膠的產(chǎn)業(yè)化。為此，她傾盡所有，籌集了1000萬美元啟動資金。在投身到建廠工作時，陳昕才開始深刻理解當(dāng)初她的合作伙伴為什么遲遲沒有邁出建廠的腳步。

“在廠房設(shè)計(jì)即將完成的時候，我們卻被告知購置的土地不能使用了。”陳昕告訴記者，北京科華設(shè)立后，在通州購置了土地自建廠房，在被通知不能使用這塊土地后，又輾轉(zhuǎn)通過當(dāng)時北京經(jīng)信局的幫助協(xié)調(diào)，轉(zhuǎn)戰(zhàn)北京順義的天竺保稅區(qū)，可謂一波
三折。除了土地，工廠的設(shè)備幾乎都要進(jìn)口，流程冗長、復(fù)雜；而且，國內(nèi)工程師幾乎都沒有見過那些設(shè)備，更別提安裝、使用。最終，原本計(jì)劃12個月的建廠工作，北京科華花了足足30個月才完成，建廠費(fèi)用也從預(yù)計(jì)的同類美國工廠的70%，上升到110%。相比這些困難，陳昕遇到的最大問題是“無人可用”。技術(shù)、人才、資金，是這個項(xiàng)目必備的三要素?！斑@個領(lǐng)域在國際上發(fā)展了30年，但國內(nèi)大學(xué)連這個方向的教學(xué)都還沒有，國內(nèi)也沒有什么像樣的光刻膠公司，更別提成熟的專業(yè)技術(shù)人才，甚至成熟的工程建設(shè)人才?！标愱康幕貞浡詭Э酀?。沒有人才，陳昕就找到清華大學(xué)、中科院，利用暑期給學(xué)生做培訓(xùn)。之后，陳昕再聯(lián)系美國原來的老同事，把這些學(xué)生送出去學(xué)習(xí)……

終于，北京科華在磕磕碰碰中走到了量產(chǎn)。2009年5月8日，以建設(shè)“國內(nèi)領(lǐng)先、國際一流”半導(dǎo)體光刻膠公司為宗旨的北京科華舉行了剪彩儀式，宣告中國有了自己的G/I線光刻膠生產(chǎn)線。

“居然需要3億元，真是瘋了?！被貞浧鹧邪l(fā)先進(jìn)光刻膠的歷程，陳昕印象深刻的是2010年申報KrF（248nm）光刻膠課題的事情。那時，人們不能理解研發(fā)光刻膠還需要購置昂貴的光刻機(jī)。而在2012年建成KrF（248nm）光刻膠生產(chǎn)線后，北京科華依然
不被投資人看好?！肮乐?.12億元，如果有人開得更高，你要多少我給多少?！北藭r，某知名投資人曾這樣對陳昕講。

有了KrF高檔光刻膠是榮譽(yù)，更是壓力，高昂的研發(fā)費(fèi)用、漫長的晶圓廠驗(yàn)證周期，給北京科華的流動資金帶來巨大壓力。最艱難的時候，陳昕遇到了彤程新材的創(chuàng)始人、董事長張寧。

“好人比有錢人更重要。”對于選擇與彤程新材合作，陳昕說，科華在先進(jìn)光刻膠領(lǐng)域站穩(wěn)腳跟后，有十多家公司找上門來合作，最終她選擇了彤程新材，是因?yàn)閺垖幾屗械桨残摹?/span>

陳昕給記者講了一件小事：有一位老師生病，因承擔(dān)不起30萬元的住院押金，老師的兒子無奈發(fā)起水滴籌，她捐了款并轉(zhuǎn)發(fā)到了朋友圈。張寧看到后，就通過自己的基金會，幫這位老師繳納了手術(shù)的全部費(fèi)用。

目前，通過受讓股份及簽署一致行動人協(xié)議，彤程新材旗下彤程電子直接持有北京科華56.56%的股權(quán)，合計(jì)持有北京科華超過70%的表決權(quán)。

“北京科華與彤程新材合作，二者有機(jī)會共同成長為國際一流的電子材料公司。”對于放棄對北京科華的控股權(quán)，陳昕認(rèn)為，彤程新材在精細(xì)化工方面的積累，有助于幫助北京科華解決樹脂等原材料問題。更重要的是，在光刻膠上獲得回報需要時間和
耐心，張寧作為企業(yè)家，比自己這個科學(xué)家更適合掌管“帥印”。

“我們每天都有新進(jìn)展?！睆垖幐嬖V記者，從見到陳昕的那天起，她就知道，陳昕的光刻膠夢想也是自己的，科華將站在彤程新材的肩膀上，繼續(xù)先進(jìn)光刻膠的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。在2021年半年報中，彤程新材披露，KrF（248nm）光刻膠產(chǎn)品放量、多個光
刻膠樹脂產(chǎn)品完成開發(fā)和認(rèn)證……

“交棒”張寧后，陳昕也沒有閑著。除了繼續(xù)KrF（248nm）、ArF（193nm）、EUV光刻膠研發(fā)及路線規(guī)劃外，陳昕還想從更高的層面來促進(jìn)國內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展——創(chuàng)建一個具有國際水準(zhǔn)的研發(fā)中心，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體光刻膠研發(fā)自動化、智能化。

“做實(shí)驗(yàn)，一個人一個月做100次就不少了，但計(jì)算機(jī)一天可以完成1000次。”陳昕說，她對到2025年中國的先進(jìn)光刻膠基本上可以滿足國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求充滿信心，但新的趨勢是，國際上已經(jīng)開始用軟件替代人力開展研發(fā)，她想給國內(nèi)補(bǔ)上這一課。